La máquina de adelgazamiento de obleas de carburo de silicio se utiliza principalmente para adelgazar materiales de sustrato como obleas de silicio, arseniuro de galio, cerámicas de carburo de silicio, cerámicas de zirconio, grafito, tantalato de litio, etc.
Las máquinas rectificadoras de obleas verticales de alta precisión pueden moler materiales semiconductores de tercera generación como SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. La serie DL-GSD es una máquina rectificadora de fabricación propia en China, y su rendimiento ha alcanzado el estándar mundial.