1. Propósitos pRincónipales de la máquina de adelgazamiento de obleas de carburo de silicio:
Este equipo se utiliza pRincónipalmente para el adelgazamiento de materiales de sustrato como obleas de silicio, arseniuro de galio, cerámicas de carburo de silicio, cerámicas de zirconio, grafito, tantalato de litio, etc.
Rectificado por inmersión longitudinal.
El tamaño máximo de molienda puede alcanzar Ï200 mm, compatible con versiones anteriores.
Método de molienda: a través del sistema de molienda de alimentación rotativa de obleas, se realiza la molienda de inmersión vertical.
Tipo de husillo: husillos de turbina de aire para garantizar una menor vibración.
La potencia máxima del husillo⥠4KW.
La velocidad máxima del husillo ï¼3000r/min.
Resolución del eje Z: 0,1 µm.
El método de carga de la mesa de obleas es la adsorción al vacío.
Tipo de mesa de apoyo para obleas: Mesa de apoyo para obleas de cerámica porosa.
Equipado con un juego de muelas de corrección.
Equipado con muela de diamante
Muela abrasiva de diamante (mm): Ï200±10%
El método de molienda es semiautomático/automático, interfaz de operación de pantalla táctil, control PLC, para evitar una mala operación y alarma a tiempo cuando ocurre una anomalía.
El método de medición de espesores es una medición de espesores de circuito cerrado.
Variación de espesor TTV⤱5µm
La variación de espesor entre diferentes láminas WTW⤱5µm
Rugosidad de la superficie de acabado (μm): Raâ¤0.2μm (muela abrasiva 2000#, tome una oblea de silicio como ejemplo)

2. mmáquina Pparámetros de los Máquina de adelgazamiento de obleas de carburo de silicio
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Dimensiones del disco de cerámica porosa |
Ø200mm |
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La velocidad de la mesa de apoyo (continuamente ajustable) |
0-300 rpm/min |
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Potencia del motor del chasis |
1.5KW |
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Resolución del sistema de control de trama |
0,0001 mm |
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Velocidad de la rueda (ajustable) |
0-3000 rpm/min |
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Potencia del husillo de la muela abrasiva |
5,5 kilovatios |
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Paralelismo de la pieza |
±0,003 mm |
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Error de espesor de la pieza de trabajo |
±0,003 mm |
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Planitud de la pieza de trabajo |
±0,003 mm |
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Espesor mínimo de adelgazamiento de la pieza de trabajo |
â¥0.05mm/Φ100mm |
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Repetibilidad de muela abrasiva |
0,002 mm |
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Paso de ajuste mínimo de la muela abrasiva |
0,001 mm/s |
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Dimensiones |
1200*1100*2070mm |
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peso |
1750KG |
3. Equipo SestructuradelosMáquina de adelgazamiento de obleas de carburo de silicio
El equipo se compone pRincónipalmente de marco, husillo de aire, ventosa de cerámica porosa (aplicable a varios tipos de anillos de tensión), motorreductor de husillo de vacío, husillo eléctrico de suspensión neumática hidrostática, muela abrasiva de diamante, módulo de guía de tornillo, reductor armónico, muela abrasiva en línea mecanismo de vendaje, sistema de servocontrol de circuito completamente cerrado, sistema de circulación de fluido de corte y otros componentes.
4. WorkingPAGSRincóniple de elMáquina de adelgazamiento de obleas de carburo de silicio
El producto es aspirado ygirado en el sentido de las agujas del reloj por el mecanismo del husillo de la ventosa de vacío, y luego girado en el sentido contrario a las agujas del reloj por el mecanismo del husillo motorizado de suspensión neumática hidrostática equipado con muelas abrasivas de diamante. Con la cooperación del sistema y el sistema de control de circuito cerrado completo, finalmente se logra el control preciso del rectificado de la pieza de trabajo por parte de la muela abrasiva.
5. caracteristicas de la SiconoMáquina de adelgazamiento de obleas de carburo
1).El marco está hecho de fundición de hierro dúctil de alta calidad en su totalidad y ha pasado el tratamiento de envejecimiento durante más de tres años, lo que básicamente libera la tensión interna del material.
2).El husillo de vacío está hecho de acero inoxidable, que no se ve afectado fácilmente por la expansión térmica, lo que resulta en la precisión de las dimensiones de rectificado.
3).La ventosa de vacío adopta cerámica microporosa como placa de succión y cerámica de alúmina 99 como base de la ventosa, lo que evita por completo el calentamiento del líquido de molienda después del procesamiento durante un período de tiempo, lo que provocará la deformación térmica de la ventosa.
4).El motorreductor del husillo de vacío está compuesto por un servomotor Delta y un reductor especial Delta servo.
5).El rotor flotante de aire del husillo eléctrico de suspensión neumática hidrostática está hecho de cerámica de zirconio, lo que evita por completo el entrehierro excesivo entre los rotores de movimiento de aire causado por la expansión del rotor flotante de aire debido al calor del motor y reduce la rigidez del husillo.
6).Módulo guía de tornillos.
7).El reductor armónico adopta marcas reconocidas importadas de Japón.
8).Mecanismo de rectificado en línea de la muela abrasiva, después de que la muela abrasiva se haya rectificado durante un período de tiempo, la superficie abrasiva de la muela abrasiva se bloqueará y desafilará, lo que reducirá la eficiencia de rectificado y exprimirá el producto. El vendaje puede mejorar la eficiencia de la molienda.
9).Sistema de control de rejilla de bucle completamente cerrado: para garantizar el control y la reparación precisos de la alimentación de la muela abrasiva por el servomotor, con la cooperación de este sistema.
10).Sistema de circulación de fluido abrasivo: El fluido abrasivo en el proceso de producción y procesamiento enfría continuamente la pieza de trabajo, la muela abrasiva y el husillo eléctrico a través del sistema de circulación. El líquido abrasivo también puede mejorar el autoafilado de la muela abrasiva.
Elementos adicionales opcionalesï¼
Sistema de medición de espesores en línea
ï¼Avisoï¼Si necesita instalar los dos elementos anteriores, indíquelo antes de comprar el equipo.ï¼
6.La fábrica de Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.

Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd. estaba ubicada en el nuevo distrito de Guangming, Shenzhen, China, con un capital registrado de 5 millones de yuanes, cuya área de planta es de aproximadamente 13,000 metros cuadrados. Es una empresa dedicada a la tecnología de pulido y rectificado de superficies. La compañía se especializa en I+D, producción y venta de varios equipos de rectificado plano de alta precisión, equipos de pulido plano, equipos de adelgazamiento de alta velocidad, equipos de pulido 3D y sus consumibles de apoyo. Sus productos son ampliamente utilizados en el procesamiento de precisión de sellos mecánicos, comunicaciones electrónicas, cerámica, semiconductores, cristales ópticos, aeroespacial, moldes para automóviles, LED, accesorios para teléfonos móviles, hardware y otros componentes. La base de clientes se extiende por todo el país y en el extranjero, y sus representantes incluyen TF, MEEYA, Tongda Group, Hanslaser y muchas otras empresas conocidas.
7. Preguntas frecuentes
Q1: ¿Es usted una empresa comercial o fabricante?
A: Somos fabricante. Tenemos nuestra propia fábrica y técnicos experimentados.
P2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: T/T 30% como depósito y 70% antes de la entrega. Le mostraremos las fotos de los productos y paquetes antes de pagar el saldo.
P3: ¿Cuáles son sus condiciones de entrega y tiempo de entrega?
R: EXW, FOB, CFR, CIF, DDU, etc. En general, tomará de 7 a 20 días después de recibir su pago por adelantado. El tiempo de entrega específico depende de los artículos y la cantidad de su pedido.
P4: ¿Podría proporcionar soporte tecnológico?
A: Estamos en este campo más de 20 años. Si hay algún problema, comuníquese con nosotros, le proporcionaremos sugerencias de nuestro ingeniero para ayudarlo a resolver el problema.
Q5: ¿Cuál es el MOQ de productos personalizados?
R: Somos fabricantes y podemos proporcionarle MOQ pequeño para productos personalizados.
P6: ¿Prueba todos sus productos antes de la entrega?
R: Sí, todos los productos se probarán antes de la entrega.
Q7: ¿Cómo hace que nuestro negocio sea una buena relación a largo plazo?
R.:Mantenemos una buena calidad y un precio competitivo para garantizar el beneficio de nuestros clientes, y respetamos a cada cliente como nuestro amigo y sinceramente hacemos negocios y nos hacemos amigos de ellos, sin importar de dónde vengan.
P8: ¿Hay alguna garantía de calidad?
R: ofrecemos garantía de calidad de un año. Somos responsables de la calidad de nuestros sellos mecánicos.